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中微公司迎第 3000台CCP刻蚀设备反应腔付运里程碑

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证券时报e公司讯,近日,中微半导体设(shè)备(上海)股份有限公司(以下简(jiǎn)称“中微公司”)的电容耦合等离子体(CCP)刻蚀(shí)设备第3000台反应腔顺(sh中微公司迎第3000台CCP刻蚀设备反应腔付运里程碑ùn)利付运国内一家先进(jìn)的半导体芯 片制造商。

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